公布日：2022.02.18

申请日：2021.12.03

分类号：F28D7/00(2006.01)I;F28F1/08(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I

摘要

本发明涉及半导体制造中的废水的利用方法，包括以下步骤：采集废水，然后将废水和来自管网的自来水分别引入管壳式换热器的管程和壳程进行换热。本发明的利用方法能够将废水中的低品位热能利用起来，在夏季和冬季对温度偏高和偏低的工艺用水进行预先的冷却或加热，相比于直接加热或冷却工艺用水，本发明的方法能够起到降低能耗的作用。

权利要求书

1.半导体制造中的废水的利用方法，其特征在于包括以下步骤：采集废水的步骤，将废水和来自管网的自来水分别引入管壳式换热器的管程和壳程进行换热。

2.如权利要求1所述的半导体制造中的废水的利用方法，其特征在于所述的废水是晶圆的清洗废水。

3.如权利要求1所述的半导体制造中的废水的利用方法，其特征在于所述的管壳式换热器的管程采用波节管。

发明内容

本发明的主要目的在于利用半导体废水的低品位热能解决工艺用水在夏季和冬季温度偏高和偏低的问题。

为了实现上述目的，本发明提供一种半导体制造中的废水的利用方法，包括以下步骤：

采集废水的步骤，

将废水和来自管网的自来水分别引入管壳式换热器的管程和壳程进行换热。

在本发明的一些实施例中，所述的废水是晶圆的清洗废水。

在本发明的一些实施例中，所述的管壳式换热器的管程采用波节管。

本发明的利用方法能够将废水中的低品位热能利用起来，在夏季和冬季对温度偏高和偏低的工艺用水进行预先的冷却或加热，相比于直接加热或冷却工艺用水，本发明的方法能够起到降低能耗的作用。

（发明人：王奇平）