高纯水是化学纯度极高的水，其中的杂质的含量小于0.1mg/L。目前人们制成的高纯水的纯度已经达到99.99999999%，其中杂质含量低于0.01mg/L。
高纯水，是指将水中的导电介质几乎全部去除，又将水中不离解的胶体物质、气体和有机物均去除至很低程度的水。高纯水的含盐量在0. 3mg/L以下，电导率小于0. 2μs/cm。
在相同的操作电流下，随着原水电导率的增加则EDI出水的电导率也增加。因为原水电导率低则离子的含量也低，同时低离子浓度使得在淡室中树脂和膜的表面上形成的电势梯度也大，这导致水的解离程度增强，极限电流增大，产生的H+和OH-的数量较多，使填充在淡室中的阴、阳离子交换树脂的再生效果良好。
在原水的电导率为21.5μS/cm时，随着操作电流的增大而EDI出水的电导率一直很小(0.1～0.05μS/cm)，这是因为原水电导率越小则水解离越剧烈，产生的H+和OH-也越多，树脂电再生的效果就越好(使其保持良好的交换性能)。当操作电流继续升高时，H+和OH-除用于再生树脂外还用于负载电流，故淡室中的水解离程度继续增大，使得离子交换与树脂的再生逐渐达到平衡，产水电导率趋于稳定。因此，原水电导率是影响产水水质的最重要因素之一。当进水电导率较高时，随着操作电流的增加其产水水质有所下降。以原水电导率为100μS/cm时的曲线为例，当操作电流从0逐渐增加到5A时EDI出水的电导率从0.17μS/cm 上升到0.5μS/cm左右(水质有所下降)，其原因是在高盐度下浓差极化较小、水解离作用弱，树脂几乎没有获得再生，此时离子交换起了主要作用，短时间内树脂就被盐离子所饱和，而这时树脂主要起到增强离子迁移的作用。
无论进水含盐量高或低，二级五段的EDI设备对其都有很好的脱盐效果(脱盐率>99%)，出水的电导率能够达到高纯水标准(电导率<1μS/cm)。
电导率(T.D.S)：水的导电性即水的电阻的倒数，通常用它来表示水的纯净度。